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碳化硅(SiC)陶瓷结构件

产品描述

  碳化硅(SiC)陶瓷结构件是结构陶瓷中耐温高、硬度大、热导率优的“极端环境王者”。
  1.综合性能:在超高温1000°C至1400℃、强腐蚀、高磨损工况环境中稳定工作;摩擦系数极低,自润滑性能优异,适合无油润滑工况。抗磨损性能极佳在含颗粒介质或高磨损工况下,寿命远超其他陶瓷材料。优异的热物理性能热导率极高,热膨胀系数极低与第三代半导体SiC衬底完美匹配。抗热震性优异能承受剧烈的温度变化而不开裂。化学稳定性,抗氧化性极强在所有非氧化物陶瓷中抗氧化性好,耐腐蚀性优异对几乎所有酸碱具有极高的化学惰性,尤其能耐氢氟酸(HF)。是极端工况下的“性能之王”。
  2.性能参数:密度3.1-3.2 g/cm³,维氏硬度26-32 GPa,抗弯强度350-600 MPa,弹性模量380-410 GPa,断裂韧性3.5-4.5 MPa·m¹ᐟ²,热导率120-200 W/(m·K),热膨胀系数 2.5-4.0×10⁻⁶/℃约为钢材的1/4,最高使用温度1600°C是已知陶瓷材料中高温强度最好的,抗热震性优异能承受急剧温度变化,电学性能半导体特性碳化硅是宽禁带半导体材料,常温下有一定导电性(区别于氧化铝(Al₂O₃)、氧化锆(ZrO₂)、氮化硅(Si₃N₄)的电绝缘),高温导电性在高温下可用于电热元件、电极等。
  3.典型应用:碳化硅(SiC)陶瓷是半导体设备的核心耗材。如光刻机的工件台、导轨、反射镜、真空吸盘;蚀刻设备的晶圆夹具、加热器、手臂(耐等离子体腐蚀);CVD设备的舟托、载具(取代石英,寿命提升5倍以上);航天器结构件的反射镜,高温燃烧室的耐热、热膨胀小、比重轻。热防护系统及聚变反应堆的碳化硅复合材料工作温度可达1600℃,耐辐射性能优异,燃料循环组件的氚分离与回收系统。高温喷嘴的耐磨、耐高温;热交换器的高导热、耐腐蚀;窑炉部件的炉具、热电偶保护管。光伏新能源扩散炉载具的取代石英,寿命提升5倍以上,LPCVD设备舟托的耐高温、耐腐蚀,防弹装甲防弹板的高硬度、轻量化。总结它最大的价值在于--其他材料无法胜任的地方,碳化硅往往是最可靠的答案。
注意事项
  主要短板脆性较大断裂韧性仅3.5-4.5 MPa·m¹ᐟ²,抗冲击能力差不能承受剧烈冲击或振动载荷,要求设计、安装和使用必须极为谨慎,并可通过纤维增韧等复合材料技术改善韧性。大尺寸 复杂异形构件制备难度大,需采用3D打印等先进技术。

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